能量色散X射線分析—般指X射線熒光光譜剖析，使用初級X射線光子或其他微觀離子激起待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光(次級X射線)而進行物質(zhì)成分剖析和化學態(tài)研討的辦法。按激起、色散和勘探辦法的不同，分為X射線光譜法(波長色散)和X射線能譜法(能量色散)。根據(jù)色散方式不同，X射線熒光剖析儀相應分為X射線熒光光譜儀(波長色散)和X射線熒光能譜儀(能量色散)。
能量色散X射線分析是確認物質(zhì)中微量元素的品種和含量的一種辦法，又稱X射線次級發(fā)射光譜剖析，是使用原級X射線光子或其它微觀粒子激起待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生次級的特征X射線(X光熒光)而進行物質(zhì)成分剖析和化學態(tài)研討。
原理
能量色散X射線分析時，試樣能夠被激起出各種波長的熒光X射線,需要把混合的X射線按波長(或能量）分開，別離丈量不同波長(或能量）的X射線的強度，以進行定性和定量剖析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。
原子結構由原子核及核外電子組成，每個核外電子都以特定的能量在固定軌道上運行。當能量高于原子內(nèi)層電子結合能的高能X射線與原子產(chǎn)生磕碰時，驅(qū)趕一個內(nèi)層電子(如:K層)而出現(xiàn)一個空穴，使整個原子結構處于不穩(wěn)定狀況，較外層電子(如:L層)就會自發(fā)地躍遷到內(nèi)層來填充這個空穴。不同殼層之間存在能量差(如:LE=EL-EK)，當躍遷過程中能量差以二次X射線的形式釋放出來時就能夠發(fā)射特征X射線熒光。
每一種元素都有其特定波長（或能量）的特征X射線。由Moseley定律可知，元素的熒光X射線的波長(λ）隨元素的原子序數(shù)(Z)添加，有規(guī)則地向短波方向移動。
(1/λ)1/2=K(Z-S)
上式中K、S為常數(shù)，隨譜系(L、K、M、N)而定。經(jīng)過測定樣品中熒光X射線的波長，就能夠確認樣品中元素的品種信息。這就是X射線熒光光譜定性剖析。
元素特征X射線的強度與該元素在樣品中的原子數(shù)量成份額。經(jīng)過丈量樣品中某種元素熒光X射線的強度，采用適當?shù)霓k法進行校準與校對，就能夠求出該元素在樣品中的百分含量。這就是X射線熒光光譜定量剖析。
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