島津EDX-7000/8000X射線熒光就是被分析樣品在X射線照射下發(fā)出的X射線，它包含了被分析樣品化學(xué)組成的信息，通過對X射線熒光的分析確定被測樣品中各組份含量的儀器就是X射線熒光分析儀。
島津EDX-7000/8000X射線具有波粒二象性，既可以看作粒子，也可以看作電磁波。看作粒子時的能量和看作電磁波時的波長有著一一對應(yīng)關(guān)系。這就是普朗克公式：E＝hc/λ。
無論是測定能量，還是波長，都可以實現(xiàn)對相應(yīng)元素的分析，其效果是一樣的。當(dāng)能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線與原子發(fā)生碰撞時，驅(qū)逐一個內(nèi)層電子而出現(xiàn)一個空穴，使整個原子體系處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài)，激發(fā)態(tài)原子壽命約為10－12－10－14s，然后自發(fā)地由能量高的狀態(tài)躍遷到能量低的狀態(tài)。
這個過程稱為馳豫過程。馳豫過程既可以是非輻射躍遷，也可以是輻射躍遷。當(dāng)較外層的電子躍遷到空穴時，所釋放的能量隨即在原子內(nèi)部被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子，此稱為俄歇效應(yīng)，亦稱次級光電效應(yīng)或無輻射效應(yīng)，所逐出的次級光電子稱為俄歇電子。它的能量是特征的，與入射輻射的能量無關(guān)。
根據(jù)分光方式的不同，x射線熒光分析可分為能量色散和波長色散兩類，也就是通常所說的能譜儀和波譜儀。通過測定熒光x射線的能量實現(xiàn)對被測樣品分析的方式稱之為能量色散x射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱之為能譜儀，通過測定熒光x射線的波長實現(xiàn)對被測樣品分析的方式稱之為波長色散x射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱之為X射線熒光光譜儀。
X射線測量是隨機事件的統(tǒng)計測量，是由統(tǒng)計規(guī)律決定的，計數(shù)的絕對量取決于測量時間，并直接決定著測量誤差的大小，足夠長的測量時間是測量精度的前提條件，為了保證測量精度，要有足夠的測量時間以及足夠的計數(shù)率。
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